故障现象
设备在工作中出现曝光中断,并提示高压严重出错。重启机器后,做曝光预热过程中报错:“General error message”。
故障分析与排除
根据报错,首先检查高压系统,
1)打开配电柜,观察有关高压部分的空气开关和保险丝都正常。
2)测量高压阳极模块(APM) 和高压阴极模块(CPM)的数据都正常,高压曝光控制板(Rhost)的指示灯也正常。
3)然后进入系统的调试模式,用低条件(80 kV,20 mA)进行短时间曝光。4)查看实际的kV 和mA 值,发现kV 值基本正常,但是阳极和阴极的电流不相等,阴极电流很小。
可以发现实际通过球管灯丝的电流几乎为零。取下球管阴极高压插头,用万用表测到灯丝变压器阻值很小,球管灯丝阻值为无穷大,基本可以认定是球管灯丝断了。
向厂家购买球管并进行更换(需注意更换球管时,连接球管正负极的两根高压电缆线,这两根高压电缆线拆卸下来后需要用干净的塑料袋子装好,防止有灰尘进入)。并在厂家工程师的指导下进行球管的顺应性校准(tube adaptation)。
现流程如下:
1)Grud Voltage Entry(电压校正)
2)Filiament Calibration(灯丝校正)
3)Rotal Balance Test(旋转平衡测试)
4) Long TC(球管长时间的曝光,高条件训练)
5) XRT Z-mechanical Calibration(球管 Z 轴方向机械调整,在此之前需要做眼模定位)
6) Plance Z-mechanical Calibration( 前准直器Z 轴方向机械校正)
7) XRT X-mechanical Calibration(球管X 轴方向机械调整)
8)XRT FS Width Calibration(焦点宽度定标)
9)XRT DFS Position Calibration(动态焦点校正定位)
10)XRT SFS Position Calibration(静态焦点校正定位)
11)Ultrahigh RES Comn Align Calibration( 超高分辨力准直器校正)
12) AirCalibration( 空气校正)
13)Phantom Calibration( 水模校正)
所有步骤完成后,重启机器,球管预热正常,能进行正常扫描操作,故障排除。
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